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  • 3軸機械臂3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂
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      3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點: 


      超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列

      適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運

      全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求

      比MHR系列具有更好的性價比優勢

      機械手臂標準臂長:160mm, 200mm

      適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

      配備動作監視器

      控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

      全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機

      S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

      晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

      手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

      可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供最優的手指


      3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂基本參數


      使用環境

      潔凈間內的大氣環境

      手臂

      單臂

      到達距離

      400mm (手臂第3關節中心到達距離)

      升降軸最大行程

      300mm / 400mm / 500mm

      可搬運質量

      4kg (手臂第3關節處基準)




      如需詳細產品參數 請聯系我們

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