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  • 桌面型多功能等離子設備
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      PLASMA桌面型多功能等離子設備概要:


      是針對研發、試產需求設計的桌面型多功能等離子處理系統。其緊湊可靠的設計可在真空腔室內產生密集、均勻的等離子體,適用于等離子表面處理、表面刻蝕以及其它多種工藝應用。



      PLASMA桌面型多功能等離子設備特點: 


      設計緊湊的桌面型等離子工藝平臺,易于與廠務端連接

      可靠的腔體結構設計,確保工藝腔體具備一流的氣密性與耐用性

      優秀的進氣、排氣設計,保證工藝過程的均勻性

      支持多種電極形式與最多4路工藝氣體,適用于處理各種產品并適應多種工藝要求

      直觀的圖形控制界面,通過觸屏可實時觀察、控制工藝過程

      13.56MHz射頻電源與自動匹配系統,具有優異的穩定性和可重復性




      需要詳細參數資料,請聯系我們

      PLASMA桌面型多功能等離子設備應用領域: 


      材料表面有機污染物的去處

      去處納米級金屬氧化層

      增強表面膠體流動性,消除涂層、塑封料的分層

      提升表面能,實現難粘材料的有效結合

      表面粗化與微蝕:消除表面應力,使材料更易結合

      納米級表面粗化,應力釋放

      光刻膠去除

      對多種材料的選擇性刻蝕







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