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  • ALPHAPLASMA AL18等離子清洗機
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    • 參數
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      ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18特點:


      改善Die Bonding

      改善Wire Bonding

      改善錫球焊接

      改善倒裝底部填充(FC Underfill)

      改善塑封(Molding)/封膠


      ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18選項


      進口干泵系統(含相關附件)

      信號燈塔-紅黃綠三色

      額外的處理氣體線路-最多至4路氣體

      旋轉臺-φ200mm,旋轉速度可調

      ECR機構

      包裝,運輸



      ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18規格


      等離子源

      2.45Ghz微波等離子源,600W

      腔體

      鋁.長250mm,寬250mm,深290mm,18L

      外觀尺寸

      長530mm,寬600mm,高550mm

      處理氣體

      1路氣體+數字MKS流量控制器

      真空腔門

      鉸鏈門+觀察窗

      觀察窗

      UV與微波屏蔽保護

      GUI 7"觸摸屏

      Window CE操作系統

      ALPHAPLASMA等離子清洗機AL18典型應用:


      等離子清洗,適合于小體積產品,小批量生產和實驗室使用。


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